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日本王子控股研发木基光刻胶,2028年欲商业化,剑指2nm制程

2025-01-24来源:芯智讯编辑:瑞雪

日本纸业巨头王子控股(Oji Holdings)正积极布局木制材料综合企业的转型之路,其最新动向引人关注。据悉,该公司正致力于开发一种采用木基生物质材料的正性光阻剂(光刻胶),并计划在2028年实现商业化。

王子控股在光阻剂领域的创新技术,是从木材中提取前体材料,再将其与特定溶剂混合聚合,并通过净化技术去除杂质,最终制得光阻剂成品。这一技术路线的实施,标志着王子控股在光阻剂生产上的重大突破。据公司宣称,其木基光阻剂可满足2nm先进制程的需求,这一特性与日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机不谋而合。

传统的正性光阻剂往往需要添加有害的永久化学品PFAS来提高光敏感度。而王子控股的木基光阻剂在EUV极紫外光下的降解速率远超传统产品,高达8倍之多。这一特性不仅取消了PFAS的使用需求,使得生产更为环保,同时还能够提升先进制程图案化的质量。

王子控股的木基光阻剂在生产原料上也具有显著优势。相较于传统光阻剂多为石油基塑料制品,木基光阻剂在原料选择上能够降低温室气体的排放数量,这对于应对全球气候变化具有重要意义。

王子控股对于木基光阻剂的商业化前景充满信心。公司表示,预计到2030年之前,木基光阻剂的年销售金额将达到100亿日元。这一目标的实现,将为公司带来新的增长点,并推动其在木制材料综合企业转型的道路上迈出坚实步伐。

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