中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）近日披露了2025年第三季度财务数据，显示公司在半导体设备领域持续保持强劲增长态势。报告显示，2025年前三季度，中微公司实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；净利润达到12.11亿元，较去年同期增长32.66%。
薄膜设备业务则成为中微公司新的增长点。报告显示，LPCVD（低压化学气相沉积）和ALD（原子层沉积）等薄膜设备实现收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已顺利进入市场，设备性能达到国际领先水平，市场覆盖率不断提升。
在研发投入方面，中微公司持续加大力度。2025年前三季度，公司研发支出达到25.23亿元，较去年同期增长63.44%，占营业收入比例约为31.29%，远高于科创板平均水平。公司表示，市场对多种新设备的需求急剧增长，为尽快补齐短板、实现技术赶超，公司显著加大了研发力度，为持续增长奠定基础。
净利润增长的主要驱动力来自多方面。首先，营业收入增长46.40%带动毛利较上年增加约8.27亿元；其次，研发支出虽同比增加9.79亿元，但为公司长期发展提供了技术保障；市场波动导致公司计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元。
在产品验证方面，中微公司也取得重要进展。公司硅和锗硅外延EPI设备已顺利运付客户端进行量产验证，并获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证，进一步拓展了业务边界。
