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台积电CEO:目前生产中不需要高数值孔径EUV

2026-06-04来源:ITBEAR编辑:瑞雪
格隆汇6月4日|台积电首席执行官:我们已购买高数值孔径EUV光刻设备用于研发,但由于成本高,目前生产中不需要高数值孔径EUV。我们正在努力降低成本,并在投入生产前最大化高数值孔径EUV的效益。