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台积电携手伙伴验证玻璃基板技术 封装性能提升迈向产业化新阶段

2026-06-17来源:快讯编辑:瑞雪

近日,台积电在先进封装领域迈出重要一步,正式向供应链披露“CoWoS玻璃基板开发计划”。此次合作联合了ABF载板厂商揖斐电(Ibiden)与面板厂商群创,三方将共同验证玻璃基板应用于CoWoS先进封装的可行性。这一动作标志着玻璃基板技术正式进入产业化验证阶段,引发业界广泛关注。

供应链消息显示,经过三方合作模拟验证,玻璃基板在封装性能上展现出显著优势。具体来看,封装翘曲相关指标COP改善率达16%,有效控制了封装翘曲程度;热膨胀系数降低19%,与硅晶片的匹配度更高;弹性模数提升31%,整体刚性显著增强。供电电阻值降低27%,电感值降低42%,进一步优化了电气性能。

测试样品采用0.8毫米玻璃核心基板,封装规格为5倍光罩CoW,整体尺寸达85×110毫米,属于大型AI GPU封装等级。台积电特别强调,在测试过程中未出现严重翘曲、分层或剥离等影响良率的关键问题,为后续技术优化提供了重要参考。

此前,台积电董事长兼总裁魏哲家在股东会上透露,公司已建成CoPoS试产线,预计2至3年内可实现规模化量产。不过,玻璃基板全面量产仍面临挑战。台积电表示,未来需持续研究玻璃厚度优化及大型CoWoS封装布局设计。业内人士指出,玻璃通孔填铜、大面积翘曲控制及良率提升等核心工艺问题,仍是制约玻璃基板大规模应用的关键因素。

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