上海芯上微装中标先进封装进步式光刻机

企查查APP显示，上海芯上微装科技股份有限公司新增中标项目，项目名称为“步进式光刻机（中道，先进封装用）”，招采单位为上海芯源创新中心。企查查信息显示，上海芯上微装科技股份有限公司成立于2025年2月，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售等。
采购方上海芯源创新中心为上海市事业单位属性的新型研发机构，成立于2024年，聚焦“智能+微电子”科技领域，围绕低空经济、智能无人、具身智能等重点产业方向。